| 根据真空系统的工作状态，可分为两大类： 1.静态真空系统 当被抽容器与泵隔开后，能在较长时间内保持几乎不变的压强，且在整个抽气系统中真空泵以后各部分的压强处处相等，通常称这类抽气系统为静态真空系统。在静态真空系统中真空泵和抽气系统的抽速不是一个重要的参数，重要的是系统中的漏气量和材料的放气量要小，以保证达到较高的极限真空。我们所做实验使用的系统就属于静态真空系统。 2. 动态真空系统 动态真空系统的特点是：被抽容器内真空度的维持是靠真空泵的连续抽气来保证的;因此，真空系统中可以存在少量的漏气和放气，只要泵能及时抽走这部分气体，便可使系统中的压强达到动态平衡。这类真空系统对真空泵的抽速大小和管道、阀门等真空元件的导通能力要求尽量大，以维持工作压强。各种真空镀膜设备、表面分析仪器、真空热处理设备属于动态真空系统。 |
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